Oberflächenparameter mit Weißlichtinterferometrie erfassen
NetGage3D-Sensoren erfassen topologische Oberflächenparameter wie Ebenheit, Rauheit oder Stufenhöhen bis in den Nanometerbereich. Je nach Einsatzzweck werden dafür unterschiedlichen Kameras genutzt: Die Erfassung der Rauheit wird über eine besonders hohe laterale Auflösung realisiert. Die Prüfung der Ebenheit übernehmen Sensoren mit einem sehr großen Messfeld bis hin zu 110×110 mm².
Beim Messvorgang wird der Messkopf in z-Richtung verfahren und das Objekt abgescannt. So erhält man ein „Tiefenbild“ des Objekts mit einer äußerst geringen Messunsicherheit. Damit lassen sich auch tiefliegende Bereiche, wie Bohrlöcher, Gräben oder geätzte Strukturen, abschattungsfrei vermessen. Gleichzeitig werden große Arbeitsabstände eingehalten. Abhängig von der Oberfläche können sehr hohe Messgeschwindigkeiten realisiert werden.
Eine schnelle Konfiguration der Messaufgabe ist durch die einfache und intuitiv gestaltete Bedienoberfläche gewährleistet. Während der ersten Einrichtung wird der gesamte Ablauf als automatisiertes Rezept hinterlegt und steht damit für weitere Messungen bereit. Ein übersichtliches Reporting rundet das Bedienkonzept ab.
