Werth Messtechnik bietet mit dem NanoFocusProbe NFP einen konfokalen Flächensensor in Multisensor-Koordinatenmessgeräten an.

Der NanoFocusProbe NFP wird zur flächenhaften Messung von Geometrie, Form und Rauheit an Mikrostrukturen eingesetzt, aber auch Schneidkantenradien an Werkzeugen oder Schichtdicken können gemessen werden.

Der Einsatz ist sowohl im Fertigungs- als auch im Laborbereich möglich. Der Sensor ist vollständig in das Werth-Multisensorkonzept integriert und erlaubt geringste Antastabweichungen von einigen zehn Nanometern. Durch Einsatz verschiedener Optiken kann die Leistungsfähigkeit hinsichtlich Genauigkeit und Messbereich an die jeweilige Aufgabenstellung angepasst werden.

Auf Grund der Integration in ein Koordinatenmessgerät ist der Messbereich nicht auf das Sehfeld des Sensors beschränkt. Der Sensor kann beliebig im Messvolumen positioniert und eingesetzt werden.