Bildverarbeitung

Defekterkennung und Metrologie in einem System

Mit den Messsystem Waferinspect AOI erweitert Confovis seine Produktreihe um ein AOI Tool, das Defect Inspection, Defect Review sowie 2D- und 3D-Messungen in einem einzigen System zusammenbringt.

Die Defekterkennung und -auswertung wurde in Zusammenarbeit mit Neurocheck umgesetzt. Für die Defekterkennung nutzt das Confovis Waferinspect AOI aktuelle Computer-Architektur (Arbeitsspeicher mit 1 TB), um Golden Samples (mit einer Größe von bis zu 500GB) im Arbeitsspeicher mit dem aktuellen Defektscan in Echtzeit zu vergleichen.

Die Defekterkennung erreicht dabei eine Geschwindigkeit von bis zu 25 FPS, da Zugriffszeiten auf die SSD Festplatte als limitierende Größe entfallen. Im Vergleich zu derzeit etablierten Standardsystemen ermöglicht das Confovis System bei identischer Prozesszeit eine wesentlich höhere Auflösung, wodurch selbst kleinste Defekte von einer Größe bis zu 0,1 µ/px in verschiedensten Oberflächen und Prozessschritten im Front-End oder Back-End detektiert werden.

Kontakt

Confovis GmbH

Ernst-Ruska-Ring 11
07745 Jena

+49 3641 27410 00
+49 3641 27410 99


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