Das Super Optical Device 3 (SOD III) von Moritex ist ein Mikroskopkopf mit integrierter koaxialer Beleuchtung speziell für die industrielle Bildverarbeitung mithilfe von Mikroskopobjektiven.

Das System umfasst ein Tubusgehäuse mit koaxialepiskopischer Beleuchtung zur Verwendung von Mikroskopobjektiven. Bei der Erfassung von flachen Oberflächen produziert es SOD-III-Bilder von höchster Qualität.

Die integrierte koaxiale Beleuchtungsvorrichtung lässt sich dabei mit Kaltlichtleitern und LED-Lichtquellen speisen.

Durch die Kompatibilität mit einer großen Vielzahl von Mikroskop-Objektiven und durch die flexiblen Montageoptionen ist das kompakte SOD-III die ideale Lösung für Anwendungen wie LCD- und Wafer-Mängelinspektion und -Alignment, optischem Alignment und der automatisierten Inspektion kleiner Bauteile.