Dichroitische Filter für extremes Ultraviolett
Edmund Optics
Die dichroitischen Filter für extremes Ultraviolett, auch bezeichnet als Strahlseparatoren oder dichroitische Strahlteiler, haben eine Bandbreite von 5 bis 40 nm und eine hohe Trenneffizienz zwischen EUV- und NIR-Wellenlängen. Sie werden aus Quarzglassubstraten hergestellt und halten somit höheren Laserleistungen stand als zum Beispiel die Strahlseparatoren mit Brewster-Winkel oder andere EUV-Filter.
Die Filterserie ist die neueste Ergänzung der lagerhaltigen EUV-Optiken bei Edmund Optics, die eine rasche Prototypenfertigung, Produktentwicklung und Forschung ermöglichen. Durch die schnelle Verfügbarkeit der Optiken können Optikintegratoren die sonst üblichen langen Lieferzeiten in Verbindung mit der Produktion von EUV-Optiken vermeiden.